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羅茨真空泵是一種可變真空泵，其轉速和轉速成正比。真空泵的泵腔內裝有2個“8”字型轉子，它們都裝在一對平行的軸上，并互相垂直，由一對傳動比為1的齒輪帶動，彼此做逆向、同步轉動。轉子與轉子之間，泵殼體與轉子之間，仍然保持有一定的間隙，可實現高速運轉。所以羅茨真空泵是靠這一對轉子同步的，反向旋轉的推壓作用使得抽吸氣體從進氣口進入轉子和泵殼之間的空間，然后通過排氣口排出實現抽氣的真空泵。
真空泵是由兩個轉子安置在泵體內的位置來劃分的，主要分為三類：
立式羅茨真空泵：羅茨真空泵的兩個轉子軸為水平安裝，而兩個轉子軸形成的平面與水平面垂直；
臥式羅茨真空泵：羅茨真空泵的兩個轉子軸均為水平安裝，并在轉子軸上形成的平面成水平方向；
豎軸式羅茨真空泵：羅茨真空泵的兩個轉子軸垂直安裝在水平面上。
真空泵是在運轉時產生的熱量，因此我們經常為Rockeyez泵配備冷卻設備。在真空等離子體清洗機中，羅茨真空泵使用常規的冷卻裝置有3種，分別是氣冷、油冷和水冷。
羅茨真空泵的特性：
羅茨真空泵是一種無內壓的真空泵，通常壓縮比非常低，因此在真空等離子清洗機中無法單獨使用羅茨真空泵。一般需要配置一個旋片真空泵或干式螺旋真空泵作為泵組的底水泵組成。
作為真空等離子清洗機中常用的一種真空泵，羅茨真空泵具有很好的性能，如：
羅茨真空泵的起動速度快，抽速大，效率高；
其次，羅茨真空泵對所抽氣體的要求不太高，無論含塵或水汽均可抽；
三是羅茨真空泵的轉子不需要潤滑，泵腔中不含油，這樣就不會造成油污；
四是羅茨真空泵結構緊湊，占用空間小；
五是結構簡單，便于維修。
